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文介绍了一种聚酰亚胺的涂胶工艺研究方法,从其性能优势及应用再结合相应实验考察了聚酰亚胺光阻配方中滴胶速度、旋转时间等因素对结果的影响,最终得到一种最佳工艺涂胶配方。
聚酰亚胺涂胶工艺的研究
【摘 要】
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文介绍了一种聚酰亚胺的涂胶工艺研究方法,从其性能优势及应用再结合相应实验考察了聚酰亚胺光阻配方中滴胶速度、旋转时间等因素对结果的影响,最终得到一种最佳工艺涂胶配方
【机 构】
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
【出 处】
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信息记录材料
【发表日期】
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2020年5期
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