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等离子体聚合介质膜的感湿机理研究
等离子体聚合介质膜的感湿机理研究
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:clisav
【摘 要】
:
介绍了等离子体聚合方法,重点讨论了已完成的功能高分子湿敏介质膜的感湿机理及其与工艺的联系,并给出结论。
【作 者】
:
马振国
杨津基
【机 构】
:
清华大学电机系气体放电实验室
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
1995年3期
【关键词】
:
湿敏介质
等离子体聚合
湿度传感器
介质膜
plasma polymerization functional polymer humidity-sensitiv
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助项目
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介绍了等离子体聚合方法,重点讨论了已完成的功能高分子湿敏介质膜的感湿机理及其与工艺的联系,并给出结论。
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