【摘 要】
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为了给高性能微机电系统（MEMS）薄膜器件提供复合功能薄膜材料,本文将功能化碳纳米管与聚电解质溶液交互沉积技术用于静电诱导逐层自组装碳纳米管/聚合物薄膜.对薄膜制备及其性
【机 构】
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中国石油大学（华东）信息与控制工程学院
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为了给高性能微机电系统（MEMS）薄膜器件提供复合功能薄膜材料,本文将功能化碳纳米管与聚电解质溶液交互沉积技术用于静电诱导逐层自组装碳纳米管/聚合物薄膜.对薄膜制备及其性能的可调控性进行了表征和测试.扫描电镜显微（SEM）形貌观察表明,碳纳米管与聚合物分子链结合致密,形成了质地均匀的随机碳纳米管网络结构.拉曼光谱结果表明,碳纳米管在径向呼吸、缺陷振动、拉伸振动等模式下的指纹特征光谱证实了碳纳米管的有效组装和加载.用石英晶体微天平（QCM）对碳纳米管/聚合物薄膜自组装过程进行了在线实时监测,结果揭示了沉积薄
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