钴、锰掺杂氧化锌薄膜的制备和特性研究

来源 :安徽大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：yywachself

【摘要】

：

在200～500℃的衬底温度范围内,用电子束蒸镀法在Si衬底上制备了沿[002]取向的Zn0.80Co0.15Mn0.05O薄膜.这些薄膜都具有室温铁磁性,薄膜磁性随衬底温度的增大,在400℃出现极大

【作者】

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刘艳美李俊宋学萍李爱侠韩家骅周圣明

【机构】

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安徽大学

【出处】

：

安徽大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

Zn0.80Co0.15Mn0.05O薄膜室温磁性衬底温度电子束蒸镀

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在200～500℃的衬底温度范围内,用电子束蒸镀法在Si衬底上制备了沿[002]取向的Zn0.80Co0.15Mn0.05O薄膜.这些薄膜都具有室温铁磁性,薄膜磁性随衬底温度的增大,在400℃出现极大值.X射线分析则表明,除200℃制备的薄膜结晶和取向较差外,其它温度的薄膜都沿C轴高度取向,(002)面间距和衍射峰半高宽(FWHM)接近相等.讨论了衬底温度对薄膜晶体结构和磁性的影响.

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