论文部分内容阅读
通过XRD、SEM等手段主要研究了反应室氮气流量对复合涂层组织结构的影响．XRD结果表明随氮气流量变化，涂层组织由Al，Ti为主相转化为TiN、Al、Al，Ti三相同时共存；SEM表明复相涂层是由富硬质相和富软质相堆叠在一起的层状组织结构；通过对玻璃基体的喷涂层的研究表明涂层中颗粒剥落是由于颗粒在形成涂层之前表面已经凝固形核所致；当（N2）=0时，复合涂层的显微硬度为445．22HV，韧性较差；而（N2）=2.5时，显微硬度为639．98HV，韧性较好．