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本文介绍了微硅加速度传感器自六、七十代发展至今，其代表产品的特点，对微硅加速度计三种典型代表形式进行了分析、指出其优缺点，并对目前微硅加速度计的发展趋势－检测空间加速度的三维加速度计进行了重点讨论。
微硅加速度传感器的发展
【摘 要】
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本文介绍了微硅加速度传感器自六、七十代发展至今，其代表产品的特点，对微硅加速度计三种典型代表形式进行了分析、指出其优缺点，并对目前微硅加速度计的发展趋势－检测空间加速度
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1999年4期
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