【摘 要】
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本文以 X 射线荧光光谱法薄样原理为依据,采用人工合成滤纸片薄样标准,直接测定 Nb_3Ge超导薄膜的化学组份。并根据通用薄层判据,估算薄膜厚度的影响。Nb_3Ge 超导薄膜厚度在
【机 构】
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北京有色金属研究总院,北京有色金属研究总院,北京有色金属研究总院,北京有色金属研究总院
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本文以 X 射线荧光光谱法薄样原理为依据,采用人工合成滤纸片薄样标准,直接测定 Nb_3Ge超导薄膜的化学组份。并根据通用薄层判据,估算薄膜厚度的影响。Nb_3Ge 超导薄膜厚度在不大于1微米即试样面密度不大于800微克/厘米~2范围内,方法的相对标准偏差优于1%。
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