【摘 要】
：
通过分析磁场对磁控溅射过程的影响,总结出了矩形平面直流磁控溅射装置工作区域磁场的设计原则,并给出了两种磁体结构.采用有限元方法对一套装置的磁场进行了计算,磁场计算结
论文部分内容阅读
通过分析磁场对磁控溅射过程的影响,总结出了矩形平面直流磁控溅射装置工作区域磁场的设计原则,并给出了两种磁体结构.采用有限元方法对一套装置的磁场进行了计算,磁场计算结果与测量值吻合较好.基于上述分析计算,研究了磁场分布对靶材刻蚀形貌的影响,并进一步提出了具体的磁场改进措施.采用分流条垫补方法可以改进磁场分布,如果磁场水平分量呈马鞍形分布,靶材的利用率可以提高,采用磁极斜面结构对磁场分布的改进意义不大.另外,错开磁体间安装接缝和对永磁体精确充磁能够有效提高工作区域磁场分布的均匀性.
其他文献
对目前农网供电所的"三农"安全管理进行分析并提出相应的改进措施.
森林火灾被联合国列为世界八大自然灾害之一,也是公共突发事件之一.加强灾前防范,有针对性地提前落实好各项防火措施,进一步完善监测预警等防范s措施,是更好地实现预防森林火
目前,全国各地正积极开展中小学校舍抗震加固工程,努力为广大师生创建安全的校园环境,而现时中小学校舍抗震加固工程中较普遍使用的方法是:针对不满足抗震要求的结构构件进行
针对因复杂背景导致低信噪比的弱点目标探测率降低的问题,首先分析了从红外图像中探测弱点目标时,由于复杂和缓变背景下潜在目标探测率不同,而导致目标探测率降低的理论依据;
研制了Er3+/Yb3+共掺TeO2-ZnO-La2O3玻璃,测试了Er3+离子的吸收谱、荧光谱和上转换发光谱,系统研究了975 nm抽运下Yb3+离子对于Er3+离子1.5 μm波段荧光性能及其上转换发光性
改革开放30年来,福建省社会治安综合治理工作在党委政府的高度重视下,全面落实综治责任制,深入开展治安重点整治、基层创安活动和"平安福建"建设,不断创新工作机制,形成齐抓
依据统计物理学领域中的弦长密度函数,提出了水泥基复合材料邻近集料间浆体厚度分布的定量估计方法.借助计算机模拟方法生成的模型结构验证该理论方法的可靠性.通过浆体厚度
钢板-混凝土组合抗弯加固中,钢板与混凝土之间的滑移会影响加固后钢筋混凝土构件的性能.通过对组合加固后构件的理论分析,建立滑移微分方程,模拟真实的边界条件,得到了滑移沿
化纤废水CODcr、BOD5、SS、S2-、Zn2+浓度都很高.采用物化预处理系统-氧化沟工艺处理某化纤企业废水后,效果明显,出水各项指标均可达到(GB8978-1996)中的一级排放标准.同时最
教学过程是学生知识积累和知识结构优化的过程。化学教学中蕴涵着丰富的德育内容,教师要有意识地进行挖掘、整理,形成系统的教案,不失时机巧妙、自然地穿插在教学过程中。
T