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MKS Instruments（万机仪器）成立于1961年，作为半导体零部件的供应商，在气体、真空仪器及制程控制应用等方面有技术独到之处，其产品广泛地应用于各种半导体生产设备和制造过程中。
MKS制程控制仪器助力半导体设备与制造
【摘 要】
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MKS Instruments（万机仪器）成立于1961年，作为半导体零部件的供应商，在气体、真空仪器及制程控制应用等方面有技术独到之处，其产品广泛地应用于各种半导体生产设备和制造过程中。
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2007年10期
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