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硅单晶锭表面滚磨外形为晶锭加工的重要环节,本文以外圆磨削为例,分析了硅锭表面磨削加工的机理,并对滚磨加工后的硅锭表面应力进行了各种试验分析,最后测得了滚磨损伤层深度的平均值为1.953μm。
硅单晶滚磨加工工艺的探讨
【摘 要】
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硅单晶锭表面滚磨外形为晶锭加工的重要环节,本文以外圆磨削为例,分析了硅锭表面磨削加工的机理,并对滚磨加工后的硅锭表面应力进行了各种试验分析,最后测得了滚磨损伤层深度
【机 构】
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上海电子器材厂,上海电子器材厂,
【出 处】
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上海金属.有色分册
【发表日期】
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1985年01期
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