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在介绍光－ＣＶＤ制备非晶硅膜的同时，简要介绍国外近几个报导的电子回旋共振微波等离子体低温ＣＶＤ，ＣＬＴ－ＣＶＤ，均持ＣＶＤ等技术制备非晶硅膜的状况及设备市场。
几种制备非晶硅膜的CVD新技术
【摘 要】
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在介绍光－ＣＶＤ制备非晶硅膜的同时，简要介绍国外近几个报导的电子回旋共振微波等离子体低温ＣＶＤ，ＣＬＴ－ＣＶＤ，均持ＣＶＤ等技术制备非晶硅膜的状况及设备市场。
【机 构】
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电子工业部第四十四研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1997年2期
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