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日前,中微半导体设备有限公司(简称“中微”)的MOCVD设备PrismoD—BlueTM于第十五届中国国际工业博览会(简称“工博会”)上荣获银奖。该产品于今年3月正式发布,是此次获奖产品中唯一代表半导体外延工艺的MOCVD设备,该产品技术对于高亮度LED的大规模生产至关重要。作为生产LED芯片的关键设备,