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钇在不锈钢材料及高温超导材料中均起着重要重要,本实验记要研究实现钇离子注入ZrO2衬底上铜膜中的方法,使用双潘宁型多电荷重离子源,以氧化钇作为溅射材料进行离子注入,研究工作着重于氧化钇插入件的制备及钇离子的出束,注入等,样品经XPS,EPM及AEM测试证实钇的注入深度达1μm,钇的最高组分(w)为73%。