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影响多元材料溅射的机制是复杂的,在多元材料溅射中,同位素溅射是最简单的,虽然仅有质量效应面位素溅射中起优势作用,但是在离子轰击溅射中,至今是“同位素迷惑”争论的焦点有:(1)在零剂量时,同位素富集度是与出射角无关,还是与出射角有关?(2)同位素角效应是一次溅射效应,还是二次溅射效应?如何理解碰撞级联中的一不对称性对同位的作用?文中综述了这些争论,并阐明了本小组的观点。