论文部分内容阅读
影响多元材料溅射的机制是复杂的，在多元材料溅射中，同位素溅射是最简单的，虽然仅有质量效应面位素溅射中起优势作用，但是在离子轰击溅射中，至今是“同位素迷惑”争论的焦点有：（１）在零剂量时，同位素富集度是与出射角无关，还是与出射角有关？（２）同位素角效应是一次溅射效应，还是二次溅射效应？如何理解碰撞级联中的一不对称性对同位的作用？文中综述了这些争论，并阐明了本小组的观点。