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设计制作了同一晶片上的集成三电极的谐振器。研究了这种谐振器的力敏特性与加力方位、电极材料的关系。并对电极材料分别为Au、Al的谐振器进行了比较实验。结果表明，谐振器的力敏特性与加力方位密切相关，加力方位与x轴夹角ψ为0°时，力敏系数最大；电极材料通过对石英晶体谐振器有效机电耦合系数的影响，进而影响谐振器的力-频特性。集成式谐振器在相同加力方位时，镀Au电极比Al电极的力敏系数最大可高出189．8Hz／N。