用10keV X射线源确定隐埋氧化物中的电荷捕获特性

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong478

【摘要】

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用１０ｋｅＶＸ射线源确定隐埋氧化物中的电荷捕获特性＝Ｄｅｔｅｒｍｉｎａｔｉｏｎｏｆｔｈｅｃｈａｒｇｅ－ｔｒａｐｐｉｎｇｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｂｕｒｉｅｄｏｘｉｄｅｕｓｉｎｇａ１０－ｋｅＶＸ－ｒａｙｓｏｕｒｃｅ［刊．英］／ｐｅｎｎｉｓｅ．Ｃ... Determination of charge trapping characteristics in buried oxide using a 10 keV X-ray source = Determinationofthe

【出处】

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微电子学

【发表日期】

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1994年02期

【关键词】

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射线源电流测量氧化层预计值于立测量结果理论模拟

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