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在TFT液晶显示器、Color Filter彩色滤光片和集成电路等的制作工艺中,为获得所需的精细pattern图形,需要使用光刻胶这样的感光材料,先以涂布的方式在玻璃基板或基材上形成一定厚度的薄膜,再经掩膜版曝光后,使用显影液进行显影,去除不需要的光刻胶薄膜部分,最终获取需要的图形。
正负性显影液显影机制简介
【摘 要】
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在TFT液晶显示器、Color Filter彩色滤光片和集成电路等的制作工艺中,为获得所需的精细pattern图形,需要使用光刻胶这样的感光材料,先以涂布的方式在玻璃基板或基材上形成一
【机 构】
：
南京中电熊猫液晶材料科技有限公司
【出 处】
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电子世界
【发表日期】
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2020年19期
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