ZnO系薄膜对NO_x气体的气敏光透射特性

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用射频磁控溅射方法制备了纯氧化锌(ZnO)薄膜和掺Ag、掺Pt与掺Pd的 ZnO三种气敏光学薄膜.测量了这些薄膜在 NO_x气体中的透射光谱,然后由透射光谱获得了灵敏度的变化规律,并用吸附平衡关系式解释了气敏光透射特性,最终优化得到一种对 NO_x气体灵敏度高的掺Ag氧化锌薄膜. Pure zinc oxide (ZnO) thin films and three kinds of gas sensing optical films doped with Ag, doped with Pt and doped with ZnO were prepared by RF magnetron sputtering. The transmission spectra of these films in NO_x gas were measured, and then the change law of the sensitivity was obtained by transmission spectroscopy. The gas-sensing light transmission properties were explained by the equilibrium equation of adsorption. Finally, a ZnO-doped zinc oxide with high sensitivity to NO_x gas film.
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