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清泉池濯洗尘芯
清泉池濯洗尘芯
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sdwudipaopao
【摘 要】
:
“泉石磷磷声似琴.闲眠静听洗尘心”。《半导体国际》即将于流火八月主办的第四届晶圆清洗研讨会,在炎炎夏日里为业内人士带来一次坐币论道.一洗尘”芯”的良机。
【作 者】
:
汪辉
【机 构】
:
《半导体国际》技术顾问
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2007年8期
【关键词】
:
半导体
清洗工艺
湿法技术
单晶圆
国产化
清洗设备
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“泉石磷磷声似琴.闲眠静听洗尘心”。《半导体国际》即将于流火八月主办的第四届晶圆清洗研讨会,在炎炎夏日里为业内人士带来一次坐币论道.一洗尘”芯”的良机。
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