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该发明公开了一种含镍三氯化铁蚀刻废液的再生方法，包括3个步骤：(1)在一定压力及温度条件下使含镍三氯化铁蚀刻废液的原液浓缩到初始体积的70％～80％；(2)将上述浓缩后的含镍三氯化铁蚀刻废液冷却至40～45℃，然后向其中添加1．5～2．0倍体积的含镍三氯化铁蚀刻废液原液，并将该混合溶液的温度控制在17℃以下结晶24～60h，得到含有微量镍的晶体；