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本文研究了化合物半导体材料、器件生产工艺过程中排出的有毒物质砷、磷、硫及其化合物的治理方法。还研究了这些有毒物质的低温富集取样及快速、灵敏的分析监测方法，并与其它经典的方法作了对比。
半导体材料与器件生产工艺尾气中砷、磷、硫的治理及检测
【摘 要】
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本文研究了化合物半导体材料、器件生产工艺过程中排出的有毒物质砷、磷、硫及其化合物的治理方法。还研究了这些有毒物质的低温富集取样及快速、灵敏的分析监测方法，并与其它
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1995年3期
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