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半导体材料与器件生产工艺尾气中砷、磷、硫的治理及检测
半导体材料与器件生产工艺尾气中砷、磷、硫的治理及检测
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:godkillboy
【摘 要】
:
本文研究了化合物半导体材料、器件生产工艺过程中排出的有毒物质砷、磷、硫及其化合物的治理方法。还研究了这些有毒物质的低温富集取样及快速、灵敏的分析监测方法,并与其它
【作 者】
:
闻瑞梅
梁骏吾
等
【机 构】
:
中国科学院半导体研究所
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1995年3期
【关键词】
:
生产工艺
尾气
砷
磷
硫
治理
检测
半导体材料
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本文研究了化合物半导体材料、器件生产工艺过程中排出的有毒物质砷、磷、硫及其化合物的治理方法。还研究了这些有毒物质的低温富集取样及快速、灵敏的分析监测方法,并与其它经典的方法作了对比。
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