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利用扫描声学显微镜（ＳＡＭ）观察了三种不同成分的大气等离子喷涂（ＡＰＳ）涂层磨削加工后的亚表层显微结构，通过分析磨削后亚表层声学显微和抛光后表面扫描电子镜（ＳＥＭ）的观察，并参照涂层断怖的金相照片，证实了声学显微镜的亚表层观测能力，为研究涂层亚表层缺陷及其变化提供了一种新的技术手段，并根据涂层磨削加工后表层的变化情况，比较了三者的抗剪切强度。