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<正> 电子显微镜,触针式轮廓仪和拉曼微探针分析表明,采用反应蒸发和反应离子镀方法所制备的薄膜有显著的差异.反应蒸发产生的薄膜具有大家所熟知的柱状结构,明显
采用反应蒸发和反应离子镀膜法制备的薄膜的微结构分析
【摘 要】
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<正> 电子显微镜,触针式轮廓仪和拉曼微探针分析表明,采用反应蒸发和反应离子镀方法所制备的薄膜有显著的差异.反应蒸发产生的薄膜具有大家所熟知的柱状结构,明显
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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1996年1期
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