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一种半导体用石英玻璃棒的生产方法
一种半导体用石英玻璃棒的生产方法
来源 :建筑玻璃与工业玻璃 | 被引量 : 0次 | 上传用户:twffhvknnh
【摘 要】
:
本文介绍了一种半导体用石英玻璃棒的制备工艺,即用高频等离子制坨-中频炉无接触拉棒二步法工艺,该工艺制备出的石英玻璃棒具有纯度高、羟基含量低、尺寸精度高、外观质量及良
【作 者】
:
孙丽丽
【机 构】
:
久智光电子材料科技有限公司
【出 处】
:
建筑玻璃与工业玻璃
【发表日期】
:
2008年1期
【关键词】
:
半导体
石英玻璃
高频等离子
中频炉
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本文介绍了一种半导体用石英玻璃棒的制备工艺,即用高频等离子制坨-中频炉无接触拉棒二步法工艺,该工艺制备出的石英玻璃棒具有纯度高、羟基含量低、尺寸精度高、外观质量及良好的耐温性能等特点,可满足半导体制造工业高温扩散和氧化用大型石英承载器的质量要求,产品性能达到国际同类产品水平。
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