高频等离子相关论文
本文介绍一种采用高频等离子气化熔融炉处理危废的工艺,该处理工艺采用高频等离子火炬为加热源,产生1000℃~1700℃的高温等离子,用......
利用甚高频等离子增强化学气相沉积(VHF-PECVD)方法沉积了一系列不同晶化率的微晶硅薄膜太阳电池,并对其进行了光照老化实验.......
本文介绍了一种半导体用石英玻璃棒的制备工艺,即用高频等离子制坨-中频炉无接触拉棒二步法工艺,该工艺制备出的石英玻璃棒具有纯度......
据报道,由江苏省连云港市晶瑞石英工业开发研究院自主研发的“高频等离子制备球形微粉关健技术及产品”不久前通过部级鉴定,并将被纳......