【摘 要】
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Titanium-oxide layer was grown on glass substrate by plasma-assisted chemical vapor deposition (PCVD) using oxygen gas plasma excited by radio-frequency power a
【机 构】
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DepartmentofBiomolecularFunctionalEngineering,DepartmentofElectricandElectronicEngineering
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Titanium-oxide layer was grown on glass substrate by plasma-assisted chemical vapor deposition (PCVD) using oxygen gas plasma excited by radio-frequency power at 13.56 MHz in the pressure as low as 3mtorr at relatively low temperature below 400oC, and stu
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