【摘 要】
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采用脉冲激光沉积法（PLD）,在掺铌的钛酸锶单晶基片（Nb∶SrTiO3,NSTO）上外延生长了15 nm厚度的BTO薄膜.并采用X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）、高分辨透射电子显微镜（HRTEM）等技术,
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采用脉冲激光沉积法（PLD）,在掺铌的钛酸锶单晶基片（Nb∶SrTiO3,NSTO）上外延生长了15 nm厚度的BTO薄膜.并采用X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）、高分辨透射电子显微镜（HRTEM）等技术,分别测试了BTO薄膜的晶相结构和微观形貌与结构,证实了薄膜的外延生长特征.以磁控溅射法制备金属铂（Pt）上电极,在室温下测试了BTO薄膜的电流-电压（I-V）曲线.通过拟合I-V曲线,结果表明：在正向电压下,薄膜的漏电流符合空间电荷受限电流机制（SCLC）;在反向电压下,漏电流先为普尔-弗伦
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