【摘 要】
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本工作采用热蒸发法制备了多孔Si/SiO2薄膜,利用拉曼、红外、XRD研究了薄膜的结构,SEM研究了表面形貌,使用光致发光（PL）谱对其发光特性进行了研究。结果表明,激发波长为325nm（2.
【基金项目】
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五邑大学青年基金（2015zk13）, 江门市基础与理论科学研究类科技计划项目（[2016]189号）, 广东省高校创新团队资助项目（2015KCXTD027）, 广东省教育厅高校特色创新项目（2014KTSCX129）, 广东省教育厅2015年青年创新人才类项目（2015KQNCX170）
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本工作采用热蒸发法制备了多孔Si/SiO2薄膜,利用拉曼、红外、XRD研究了薄膜的结构,SEM研究了表面形貌,使用光致发光（PL）谱对其发光特性进行了研究。结果表明,激发波长为325nm（2.88eV）时,样品的峰位分别在430nm（2.88eV）、441nm（2.81eV）、523nm（2.47eV）、554nm（2.24eV）,激发波长为488nm时,峰位在570nm（2.18eV）,采用施主态Si悬挂键≡Si 0位于2.81eV,受主态Si悬挂键≡Si-位于3.00eV处,引入SiOx（x小于2）和
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