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三维封装芯片Cu—In体系固液互扩散低温键合机理研究
三维封装芯片Cu—In体系固液互扩散低温键合机理研究
来源 :机械制造文摘(焊接分册) | 被引量 : 0次 | 上传用户:a570121851
【摘 要】
:
芯片封装已经迈入3D封装的时代,固液互扩散键合法(Solid Liquid Inter diffusion Bonding,SLID)以其独有的优势成为芯片互连中的很有发展前景的一种方法。
【作 者】
:
王宁
田艳红
【机 构】
:
哈尔滨工业大学
【出 处】
:
机械制造文摘(焊接分册)
【发表日期】
:
2013年1期
【关键词】
:
键合机理
芯片封装
互扩散
三维封装
固液
低温
CU
Liquid
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芯片封装已经迈入3D封装的时代,固液互扩散键合法(Solid Liquid Inter diffusion Bonding,SLID)以其独有的优势成为芯片互连中的很有发展前景的一种方法。
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