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钼薄膜作为散射层材料常运用在软X射线多层膜中.制备表面超光洁、厚度为几个纳米的钼薄膜对软X射线短波区多层膜的制备具有重要意义.文章介绍了制备钼薄膜的几种方法,包括化学气相沉积、机械研磨、电解抛光、磁控溅射和脉冲激光沉积.比较研究后认为脉冲激光沉积有望满足软X射线短波区多层膜的制备需要.脉冲激光沉积可以制备表面质量高(Rq【10nm),厚度可达几个纳米的薄膜,是制备薄膜的一种重要手段.