软X射线多层膜相关论文
利用薄膜光学理论及材料在软X射线波段的原子散射因子,设计了大批量的软X射线多层膜的计算程序,对常用材料的膜系配对进行了优化设......
讨论了不连续金属薄膜对软Ｘ射线多层膜反射特性的影响。给出了理论模型,具体计算了在短波段的软Ｘ射线多层膜反射率与不连续金属岛状......
叙述了用离子束溅射镀膜机ＯＸＦＯＲＤ进行Ｘ射线长波段多层膜实验及制备Ｘ射线多层膜光学元件方面的工作。简述离子束溅射镀膜机的工作原理，Ｘ射线多......
采用离子束溅射镀膜装置制备了一种新的材料组合Si/C多层膜 ,用于 30 4nm波段的正入射多层膜反射镜。并用软X射线反射率计测得其......
软X射线多层膜经常在强光束的照射下,做为反射镜使用。由于同步辐射等强光束携带很高的能量,使软X射线多层膜镜在工作时的温升可达......
软X射线多层膜是由折射系数高低不同的两种材料交替沉积而构成的一维周期结构.在软X射线多层膜的实际应用中,如显微学、宇航学和显......
观测多层膜的结构变化,使我们能够在非平衡条件下,研究材料间相互作用,测量原子扩散速率以及形成化合物的激活能。Gook和Hilliard......
用透射电子显微镜(TEM)和Raman散射(RS)研究了对向靶溅射法制备的Co/C软X射线多层膜在退火条件下碳的结构变化.结果表明,碳层的结......
软 X射线光学系统需要在超光滑曲面上均匀镀膜。我们将超光滑曲面看作由若干个小平面拼接而成 ,通过小角衍射仪测量出各个小平面的......
该论文将着重讨论软X射线多层膜制备时的膜厚监控技术与工艺条件,及其对薄膜性能的影响.在第一章中综述了软X射线多层膜的研究现状......
软X射线多层膜是极紫外光刻系统中的关键元件，其反射性能与热稳定性对光刻系统的发展有着重要的影响。本文围绕Mo/Si多层膜界面展开......
采用离子束溅射在不同的工艺参数下制备一系列单层Mo膜、Si膜及多层膜,并用原子力显微镜分析单层膜表面粗糙度及两种材料间的界面......
软X射线光学系统需要在超光滑曲面上均匀镀膜。我们将超光滑曲面看作由若干个小平面拼接而成,通过小角衍射仪测量出各个小平面的周......
采用离子束溅射在不同的工艺参数下制备一系列单层Mo膜，Si膜及多层膜，并用原子力显微镜分析单层膜表面粗糙度及两种材料间的界面扩散......
为了研究常用间隔层材料的软X射线多层膜的材料设计，利用Livermore实验室提供的软x射线多层膜设计程序进行模拟计算，得到了软x射线波......
钼薄膜作为散射层材料常运用在软X射线多层膜中.制备表面超光洁、厚度为几个纳米的钼薄膜对软X射线短波区多层膜的制备具有重要意......
在４７３－５２３Ｋ的低温退火条件下，通过对ＣｏＮ／ＣＮ软Ｘ射线多层膜一级调制峰强度增强的定量观测，研究了ＣｏＮ／ＣＮ软Ｘ射线多层膜的界面互扩散行为，产测得低至１０＾－２５ｍ６２ｓ＾－１的有效扩散系......
叙述用离子束溅射镀膜机OXFORD进行X射线长波段多层膜实验及制备X射线多层膜光学元件方面的工作.简述离子束溅射镀膜机的工作原理 ......
软Ｘ射线光学系统需要在超光滑曲面上均匀镀膜。我们将超光滑曲面看作由若干个小平面拼接而成，通过小角衍射仪测量出各个小平面的周期......
软X射线短波段区域（1～10nm）高反射率多层膜的制备对软X射线光学的研究具有十分重要的意义。该波段要求镀膜过程中能减小界面扩散，实现......
采用离子束溅射镀膜装置制备了一种新的材料组合Ｓｉ／Ｃ多层膜，用于３０．４ｎｍ波段的正入射多层膜反射镜。并用软Ｘ射线反射率计测得其反射比最大值为０．１４。......
本文的主要工作在于摸索优化镀膜工艺的方法。我们采用离子束溅射镀膜装置在不同的工艺参数下，制备了一系列单层Mo膜、单层Si膜及Mo......
提出了一种宽带平坦型软Ｘ射线多层反射膜的设计方法，给出了１８ｎｍ－２０ｎｍ波段的设计结果，整个波段的反射率与２５％的最大偏差小于１．５％，这种方法对于软Ｘ射线波段......
软Ｘ射线多层膜的进展使正入射高分辨率成像系统从红外，可见和紫外扩展到软Ｘ射线波段，由于软Ｘ射线多层膜的反射率还不能像其它波段反射镜......
本文介绍我们首先使用一块软X射线多层膜反射镜作为色散元件而研制的同步辐射软X射线反射率计的软硬件结构、功能与特点，并报告了实......
本文介绍用直流－射频平面磁控溅射法制备软X射线多层膜的初步实验结果。在一定工艺条件下，采用计算机定时控制膜厚的方法，严格按照设......
光学薄膜作为一类重要的光学器件,在现代光学、光电子学、光学工程和其他一些重要的技术领域中应用越来越广泛.伴随着科学技术的不......
