【摘 要】
：
采用直流反应磁控溅射法,通过改变反应气体N2分压(5％、10％、20％、30％、40％、50％、60％),在SiO2/Si(111)基片上制备ZrN薄膜.利用XRD、SEM、EDS分析了薄膜的物相、结构、形貌以及成分,
【机 构】
：
西南科技大学 材料科学与工程学院,四川 绵阳 621000;中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川 绵阳 621000
论文部分内容阅读
采用直流反应磁控溅射法,通过改变反应气体N2分压(5％、10％、20％、30％、40％、50％、60％),在SiO2/Si(111)基片上制备ZrN薄膜.利用XRD、SEM、EDS分析了薄膜的物相、结构、形貌以及成分,使用分光光度计测量了薄膜的反射光谱,并进一步确定了薄膜颜色在L*a*b*色度坐标中的位置,研究了氮分压对薄膜颜色的影响,以及ZrN薄膜颜色与薄膜成分、结构之间的关系.分析结果表明:在不同的氮分压下,ZrN薄膜具有较好的成膜质量;随着氮分压的增加,薄膜沉积速率降低、N含量增加;薄膜结晶度先升高后降低、且在氮分压为10％时,薄膜出现(111)的择优取向;薄膜颜色随薄膜成分结构的改变而发生明显的变化(颜色由银色向金色、暗金、深褐色以及非本征颜色转变).当反应气体N2分压较低时,分压的增加使得锆与氮更容易键合,导致薄膜中N含量增加,使ZrN结晶度增大并出现择优取向.当N2分压超过10％后,薄膜中多余的氮处于晶格的间隙位置,使得薄膜晶格间距变大且结晶度降低,薄膜成分结构的改变导致了薄膜颜色的变化.
其他文献
西藏旁多水利枢纽坝基覆盖层最大深度超过140m,其坝基防渗方案为混凝土防渗墙下接帷幕灌浆.混凝土防渗墙施工试验采取了加强导墙及平台、采用重型机械钻抓法造孔、正电胶
研究苦荞籽乙醇提取物的抗炎镇痛作用和急性毒性。抗炎实验采用二甲苯致小鼠耳肿胀法；镇痛实验采用小鼠热板法，急性毒性实验(最大给药量)。苦荞籽提取物可明显抑制二甲苯所
3种不同含量D-手性肌醇的苦荞醋给予STZ造成糖尿病模型小鼠试验，结果表明在4周的血糖测量中，与模型组比较苦荞醋2号中剂量组均有显著性差异(P＜0.05)，血糖比模型组下降了17.2％.
The reflux extraction was adapted to extract the total polyphenols from common buckwheat bran.The effecting factors:ethanol concentration,extraction temperature
提出一种专用型航天器防污染真空除气罐,即基于真空烘烤除气及黑体加热技术,实现污染物控制及复杂形状航天器高精度控温.通过试验及气相色谱质谱连用测试仪验证,该真空除气罐
采用心理功能测试、胞质阻断法测定外周血淋巴细胞微核细胞率、血清唾液酸含量水平测定和α醋酸萘酯酶染色法测定Ｔ淋巴细胞率，对低于３２ｍｇ／ｍ￣３苯的作业工人健康早期不良影响进行综合评定
燕麦β-葡聚糖是一种存在于燕麦籽粒细胞壁非淀粉多糖，本文主要研究了燕麦β-葡聚糖的理化性质及其在食品中的应用，实验证明燕麦β-葡聚糖可作为增稠剂应用于食品加工中。
随着科技的发展,信息技术环境进入大数据时代,服装专业是中职学校传统学科,其教学模式完成向信息化发展过渡.新时代传统学科如何在信息技术快速发展中完成专业信息化教学的提
本文从荞麦遗传标记(形态标记、细胞学标记、同功酶标记、种子蛋白亚基标记、RAPD、AFLP等)、遗传多样性和荞麦育种等角度就最近一些年来的国内外研究概况进行了总结和展
苦荞芽正在成为一种新型健康食品受到关注，本研究以种子的千粒重、大小、成熟度和不同选种方法以及微量元素、赤霉素浸种对苦荞种子发芽的影响进行了试验，以期阐明各种因素