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新型非致冷红外探测器
新型非致冷红外探测器
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhpf
【摘 要】
:
介绍了近年来出现的各种新型非致冷红外探测器,对不同探测器的基本工作原理、器件结构、制作工艺以及性能的优缺点进行了讨论和对比,并对非致冷红外探测器的改进方向进行了预
【作 者】
:
刘兴明
韩琳
刘理天
【机 构】
:
清华大学
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2005年5期
【关键词】
:
非致冷红外探测器
微测辐射热计
非晶硅薄膜晶体管
红外探测器
机械式探测器
uncooled infrared detectors micro bolomete
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介绍了近年来出现的各种新型非致冷红外探测器,对不同探测器的基本工作原理、器件结构、制作工艺以及性能的优缺点进行了讨论和对比,并对非致冷红外探测器的改进方向进行了预测.
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