直流磁控溅射沉积锰酸锶镧薄膜的结构与相变特性研究

来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:forgauss
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
通过固相反应及陶瓷烧结工艺制备了具有钙钛矿结构的锰酸锶镧陶瓷靶,利用该靶材采用直流磁控溅射法在硅(100)和石英玻璃基片上制备了锰酸锶镧薄膜。研究了沉积气氛对薄膜晶体结构的影响。对高溅射压力下不同溅射功率沉积的薄膜样品的电阻-温度特性进行测量,显示薄膜具有-14-~22℃的高的金属到绝缘体的转变温度,并且随溅射功率的增加,薄膜在相变点附近的电阻变化幅度明显提高。
其他文献
近年来,在日本一直流行着"少子高龄化"这一说法,即"出生婴儿减少,老年人口的比重不断增加"。这一现象自20世纪70年代就已出现,且愈演愈烈,不仅仅在医疗、福利、养老金等社会
在无线通信领域,由于软件无线电技术的提出,接收机由传统的模拟接收逐步转向数字化,基于后续数字信号处理的数字接收机大大提高了接收性能,接收机的性能不再受限于模拟器件。随着
我们应用重庆华邦制药厂生产的迪银片治疗掌跖脓疱病,获得了较满意的疗效,现报告如下。1临床资料1.1一般资料:27例患者均为门诊就诊病人,性别、年龄不限,病程1个月~10年,所有病例均在治疗前做
目的根据医院转型,配合科室发展,改进病区药房药事质量管理,提高药事服务质量,提高患者用药安全。方法将PDCA循环管理法引入我院病区药房,对病区药房每月检查,每季度汇总,分
组织结构对恐怖组织的活动及其发展前景有着至关重要的影响。一般而言,恐怖主义组织结构的形成与发展受到内外部因素的影响,基于此,恐怖组织往往会采用等级结构与网络结构两
2016年的春晚节目上的机器人舞蹈表演引起人们的一致称赞,这不仅反映了中国飞速发展的先进科学技术,也预示着机器人将不断出现在人们的视野中,逐渐进入人们的生活中。未来学
本文以广西特色林化资源—柠檬桉为原料,开展柠檬桉果实中的挥发性成分、单宁和皂苷提取研究,考察单宁、皂苷提取物和纯化物的抗氧化活性。主要内容和结果如下:(1)水蒸气蒸馏
本研究以社会文化理论为框架,以非英语专业大一两个自然班的62名学生为研究对象,运用定性和定量相结合的研究方法探究大学英语课堂小组互动中的同伴支架。研究发现,(1)在大学
随着国家综合实力的不断增强,人民对于工资、工作时间等的要求越来越高。但现实是工资两极分化极其严重,政府机关工作人员、国有企业员工、外商投资的企业的管理人员和技术人
<正> 最近,北京市经委为提高办事效率,逐步把经济工作的重点由直接管理转到宏观的、间接的管理和为基层服务方面,制定了《北京市经济委员会关于下放管理权限,提高办事效率的