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利用射频磁控溅射方法制备了Eu掺杂的AlN薄膜样品。光致发光光谱测试表明，通过控制实验奈件，样品在室温下可以发出不同颜色的光：在613nm和407nm处出现的两个较强窄峰分别对应于可见光区的红光和紫光。红光峰源于样品中的Eu^3＋离子4f壳层的^5D10-^7F2能级跃迁，紫光峰则源自Eu^2＋离子的5d和4f间的能级跃迁。实验结果表明，随着溅射功率的增加，紫光强度得到明显加强．另外，中心位于525nm处存在一个宽的PL光谱带，对应于可见光区的绿光，该峰的出现与Eu^3＋D1^-7F1能级跃迁和样品中存在