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从两组元或三线元等离子体的一些基本性质出发，分析了等离子体在超大规模集成电路生产，扁平显示器技术，光导纤维生产和未来光计算机芯片制造，废物处理，新材料制备等中十分诱人的应用前景。
未来制造业和加工业中的等离子体
【摘 要】
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从两组元或三线元等离子体的一些基本性质出发，分析了等离子体在超大规模集成电路生产，扁平显示器技术，光导纤维生产和未来光计算机芯片制造，废物处理，新材料制备等中十分诱人的应
【机 构】
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核工业西南物理研究院
【出 处】
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核聚变与等离子体物理
【发表日期】
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1998年4期
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