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本文采用２０×２０ｍｍ的ＹＢＣＯ／ＬａＡｌＯ３薄膜，采用传统的光刻技术制备出了可用于探测核磁共振的超导线圈．并且在７７Ｋ的低温下测量的其ｆ０及Ｑ值．其ｆ０为３５２ＭＨｚ，Ｑ值为１５０．本文还介绍了器件的设计和分析考虑、器件的加工工艺及实验结果讨论
核磁共振YBCO表面探测线圈的设计与制备
【摘 要】
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本文采用２０×２０ｍｍ的ＹＢＣＯ／ＬａＡｌＯ３薄膜，采用传统的光刻技术制备出了可用于探测核磁共振的超导线圈．并且在７７Ｋ的低温下测量的其ｆ０及Ｑ值．其ｆ０为３５２ＭＨｚ，Ｑ值为１５０．本文还介绍了器件的设计和分析考虑、器件的加工工艺及实
【机 构】
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南京大学电子系超导实验室,电子工业部五十五所
【出 处】
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低温物理学报
【发表日期】
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1999年4期
【基金项目】
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国家超导技术研究与开发中心资助项目,（TAO）国际合作研究资助项目
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