高精度激光衍射测径系统

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本文介绍采用线阵 CCD的激光衍射测径系统。该系统中 CCD视频信号被逐位进行模 /数转换 ,变为相应的数字量。利用最小二乘法对衍射图样进行局部曲线拟合 ,确定暗纹间距 S。因而 ,衍射测径的精度不再受 CCD象元中心距大小的限制 This article describes the use of linear CCD laser diffraction diameter measuring system. The system CCD video signal is bit by bit analog / digital conversion, into the corresponding digital. The least squares method is used to perform partial curve fitting on the diffraction pattern to determine the obscuration distance S. Therefore, the accuracy of diffraction caliper is no longer limited by the size of CCD pixel center
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