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给出三波长光干涉测量纳米级薄膜厚度的方法。通过对某负压磁头／玻璃盘空气薄膜的测试表明：三波长光干涉法具有精度高、容易实施等优点，能够满足磁盘／磁头润滑副设计、制造及研究的需要。
三波长光干涉法测量磁盘／磁头纳米级气膜厚度
【摘 要】
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给出三波长光干涉测量纳米级薄膜厚度的方法。通过对某负压磁头／玻璃盘空气薄膜的测试表明：三波长光干涉法具有精度高、容易实施等优点，能够满足磁盘／磁头润滑副设计、制造及研究
【机 构】
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华南理工大学机械工程学院,深圳大学工程技术学院
【出 处】
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润滑与密封
【发表日期】
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2006年8期
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