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ITO膜生产技术的新进展
ITO膜生产技术的新进展
来源 :薄膜科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lzzwj
【摘 要】
:
用溅射的方法来制备ITO膜已应用于平板显示技术,特别是高速磁控溅射技术的出现,又使ITO膜实现大量生产成为可能。本文详细论述了ITO膜生产线的设计要点,总体方案及其技术性能,并分析了各种
【作 者】
:
姜燮昌
【出 处】
:
薄膜科学与技术
【发表日期】
:
1995年3期
【关键词】
:
ITO薄膜
薄膜
磁控溅射
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用溅射的方法来制备ITO膜已应用于平板显示技术,特别是高速磁控溅射技术的出现,又使ITO膜实现大量生产成为可能。本文详细论述了ITO膜生产线的设计要点,总体方案及其技术性能,并分析了各种工艺参数对ITO膜的透光率、面电阻等主要技术指标的影响。
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