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本文报道了利用MBE和MOCVD方法生长外延材料并制作出GaAs基谐振腔增强型光电探测器,进行理论分析和实验研究的结果.
GaAs基谐振腔增强型光电探测器
【摘 要】
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本文报道了利用MBE和MOCVD方法生长外延材料并制作出GaAs基谐振腔增强型光电探测器,进行理论分析和实验研究的结果.
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点联合实验室(北京)
【出 处】
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第四届全国光学学术会议
【发表日期】
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2002年12期
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