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永久性气体杂质的检测一直以来是硅烷分析的难点。在此讨论GC-9560-HG电子气体专用氦离子化色谱仪分析硅烷的方法,包括取样方法、样品后处理、色谱柱切割与反吹、进样阀吹扫、自动控制、数据处理等。
氦离子化色谱仪在电子气体(硅烷)分析中的应用
【摘 要】
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永久性气体杂质的检测一直以来是硅烷分析的难点。在此讨论GC-9560-HG电子气体专用氦离子化色谱仪分析硅烷的方法,包括取样方法、样品后处理、色谱柱切割与反吹、进样阀吹扫
【机 构】
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上海华爱色谱分析技术有限公司,上海市计量测试技术研究院
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2009年05期
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