• 不 限
  • 期刊论文
  • 硕博论文
  • 会议论文
  • 报 纸
  • 英文论文
  2. 您的位置
  3. 首页
  4. 期刊论文
  5. 沉积温度对ZrO2薄膜相结构和透射率的影响

沉积温度对ZrO2薄膜相结构和透射率的影响

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shqcd992
【摘 要】
：
利用射频反应磁控溅射在显微玻璃、单晶硅片、NaCl片和石英上沉积ZrO2薄膜.薄膜厚度80 nm～100 nm.利用X射线衍射仪、透射电子显微镜、X射线能谱仪、分光光度计和原子力显微镜
【作 者】
：
刘建华 徐可为 
【机 构】
：
西安交通大学金属材料强度国家重点实验室西安711049
【出 处】
：
真空科学与技术学报
【发表日期】
：
2004年5期
【关键词】
：
沉积温度 ZRO2薄膜 透射率 薄膜厚度 单晶硅片 相结构 反应磁控溅射 非晶相 晶粒尺寸 X射线衍射仪 ZrO2 thin film Magnetron sp 
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文 赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
利用射频反应磁控溅射在显微玻璃、单晶硅片、NaCl片和石英上沉积ZrO2薄膜.薄膜厚度80 nm～100 nm.利用X射线衍射仪、透射电子显微镜、X射线能谱仪、分光光度计和原子力显微镜研究了沉积温度对薄膜相结构和O/Zr、透射率的影响.研究发现,沉积温度升高,非晶相减少,结晶相增多;晶粒尺寸增大;沉积温度为370 ℃,透射率明显下降.
其他文献
高中历史教学中让学生优于“联想”
【正】历史知识可以分为历史史实和历史评论两部分,历史史实是历史评论的基础和出发点,而历史评论则是对历史史实的拓展与延伸,是后人对于历史事件发表的看法和观点。归根结
期刊
历史史实高中历史教学历史事件评价历史教学手段历史图片历史时空历史人物因果联想远古社会
大面积VHF-PECVD用多点馈入平行板电极馈入点优化的数值研究
本文采用二维准平面电路模型,对大面积甚高频等离子体增强化学气相沉积（VHF-PECVD）用多点馈入平行板电极馈入点的优化进行了数值研究,讨论了不同的多点馈入模式对平行板电极间
期刊
多点功率馈入甚高频等离子体增强化学气相沉积电势驻波效应电报效应Multi-points power feeding Very high frequen
美术教学中应解决的问题
【正】小学美术课堂教学是美术教育的主阵地,其质量的优劣,直接关系到小学生对美术教育目的的理解。因此,处理好美术课上经常出现的问题,是提升美术教学质量的关键。一、是否
期刊
发现美教育目的作业练习历史背景课堂气氛角色扮演中都合作探究“教学相长”元性
新课标下初中文言文的教法
【正】文言文是中华文化的丰厚载体,对文言文的学习实际上就是对中华文化一种最直接的传承。[1]初中高文言文教学不仅可以增强学生对祖国文字的热爱程度,对古代先贤的精神文
期刊
文言文教学教学现状分析思辨能力教学观念陈旧讨论时间现代汉语古代先贤文言文阅读文章大意教学过程
改革课堂教学方式促进学生可持续发展
【正】一、实现政治教学观念的四个转变1.由"先教后学"转向"先学后教"。过去的老师只注重"教",一进课堂就独霸讲坛,滔滔不绝,使学生昏昏欲睡,信息吸收率低,新知学得糊里糊涂,
期刊
学习地位课堂教学方式政治教学现代素质教育课外作业教学对策课堂教学结构素质化学习方法思维能力
具有非易失存储功能的可逆有机电双稳器件
报道一种能够在室温下具有可逆电双稳特性，并实现非易失信息存储功能的有机薄膜器件。器件为简单的三层结构，Al/HPYM/Ag，HPYM为一种有机分子材料，通过真空热蒸发法制成薄膜作为信
期刊
有机分子材料可逆电双稳态分子基器件非易失性信息存储Organic molecular material Reversible electrical b
Cs、O激活方式对GaAs光电阴极的影响
利用自行研制的GaAs光电阴极多信息量测试与评估系统,比较了不同Cs、O激活方式下GaAs光电阴极的激活过程、光谱响应特性以及稳定性的差异,发现与传统的Cs源、O源交替断续激活
期刊
GAAS光电阴极激活光谱响应稳定性逸出几率GaAs photocathode Activation Spectral response Stab
FeZrBCu射频溅射薄膜磁导率和巨磁阻抗效应的研究
采用射频溅射法在单晶硅衬底上制备了（Fe0.88Zr0.07B0.05）97Cu3薄膜样品。X射线衍射结果表明，未经任何后期处理的沉积态薄膜为非晶态结构。在5kHz～13MHz频率范围内，着重研究了沉积
期刊
沉积态薄膜有效磁导率巨磁阻抗磁各向异性As-deposited film Effective permeability Giant magnetoi
英语作业应有生活的影子
【正】作业在英语教学中的主要作用是温故知新,培养学生自主质疑和主动探究的学习精神。英语的交际性要求教师在设计作业的过程中应突出开放性和多样化,特别是从学生熟悉的生
期刊
英语作业生活素材交际性主动探究学习注意力学习精神学习过程情境创设教学要点课程标准
“学讲”方式下英语教学中自主先学的思考
<正>&#39;学讲&#39;教学模式方式为导向的教育教学改革在取得理想教学效果之后,越来越多的英语教育工作者开始尝试将其运用到教育教学中去。学讲计划,倡导学生成为课堂教学的
期刊