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通过对电化学光整加工过程中所得到的工件阳极表面微观几何形貌变化的分析，指出电化学光整加工过程是表面微观几何形貌的“圆角化”过程；结合表面微观几何形貌电化学溶解过程所建立的数学模型，提出“尖峰”形表面微观几何形貌的存在有利于改善电化学光整加工质量的观点，并在此基础上借助强化机械作用的手段，实现了大型反应釜内表面的光整加工处理，其表面粗糙度R“值可在短时间内降至0．04μm以下。