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在 MEMS 电容式加速度传感器的测试中, 由于受单放大器开环增益有限的影响, 提高加速度计的分辨力和稳定性是非常困难的. 针对这种情况, 本文采用组合放大器和地对地解调等先进技术对高频小信号进行高精度处理, 实验结果表明, 电路可检测的最小差分电容可达到5 aF(5×10-18F).
微小差分电容检测技术的研究
【摘 要】
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在 MEMS 电容式加速度传感器的测试中, 由于受单放大器开环增益有限的影响, 提高加速度计的分辨力和稳定性是非常困难的. 针对这种情况, 本文采用组合放大器和地对地解调等先
【机 构】
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上海电力学院,中国科学院
【出 处】
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测试技术学报
【发表日期】
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2004年3期
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