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期刊论文
激光诱导等离子体淀积薄膜过程的研究
激光诱导等离子体淀积薄膜过程的研究
来源 :四川工业学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:eagle_19810
【摘 要】
:
用激波理论推出了激光诱导等离子体化学气相淀积过程中两个重要参量薄膜面积、膜淀积速率的表达式.分析了激光强度、气体压强、基片温度对淀积过程的影响,为最佳淀积条件的选
【作 者】
:
张贵银
荆一东
【机 构】
:
华北电力大学
【出 处】
:
四川工业学院学报
【发表日期】
:
2001年4期
【关键词】
:
激光诱导等离子体化学气相淀积
薄膜面积
淀积速率
薄膜
制备
plasma
vapor deposition
film size
deposition rate
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用激波理论推出了激光诱导等离子体化学气相淀积过程中两个重要参量薄膜面积、膜淀积速率的表达式.分析了激光强度、气体压强、基片温度对淀积过程的影响,为最佳淀积条件的选取提供了理论依据.
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