【摘 要】
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微小型齿轮是微机电系统的主要零部件,其加工工艺是微机电系统的重要技术。总结并分析了微小型齿轮加工的各种工艺方法,包括LIGA和准LIGA、WEDM工艺、微塑性成形、微刻蚀加工
【机 构】
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北京工商大学机械工程学院,北京理工大学先进加工技术国防重点学科实验室,青岛港湾职业技术学院
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微小型齿轮是微机电系统的主要零部件,其加工工艺是微机电系统的重要技术。总结并分析了微小型齿轮加工的各种工艺方法,包括LIGA和准LIGA、WEDM工艺、微塑性成形、微刻蚀加工、微细切削加工等方法,介绍了各种方法加工微小型齿轮的研究成果,并指出了其适用范围及优缺点。微细切削微小型齿轮的加工技术又分为微细成形铣削和微细滚削加工,对应齿轮的仿形加工和范成加工方法,与其他加工方法相比,微细切削尤其是微齿轮的滚削加工,具有加工精度高、效率高、成本低、材料适用范围广等优点,更易实现零件批量柔性化的需求。
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