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采用气相质子交换方法,在Z-切LiTaO3晶体表面制备平面光滑波导层.样品制备采用245℃苯甲酸气体,在LiTaO3晶体在-C和+C表面交换8～20小时.质子交换层在LiTaO3表面形成,并用棱镜耦合测量波导样品.然后在HF:HNO3酸中用化学方法腐蚀波导层,并用电子显微镜观测光波导层与衬底界面的形貌.用X射线衍射法,测量LiTaO3质子交换光波层的晶格常数变化.用双晶X射线测量质子交换(PE)和退火质子交换(APE)波导层晶格常数的变化.样品的X射线衍射曲线表明,PE和APE波导晶格常数的变化不同.实验