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为了研究实验参数对光热干涉检测结果的影响,根据等厚干涉测量原理,利用赛德倾斜像差建立了相应的光热干涉测量模型。通过对探测光源的分析,利用随机函数建立一般性光源模型,定义了光源均匀度。在此基础上通过数值模拟,对不同光源均匀性下实验现象进行仿真,分析了光源均匀性对干涉测量结果的影响。分析表明,探测光源均匀性对热吸收干涉测量结果的影响可以忽略。同时还对比分析了不同探测器接受口径对测量结果的影响。结果显示,当探测器接收口径R=0.315 cm时,在0~0.6λ的光热位移内光热信号呈单调下降,而且条纹对比度相