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4 欧姆接触的退化 源和漏欧姆接触电阻直接影响着寄生串联电阻R<sub>s</sub>和R<sub>d</sub>,并由此而影响器件的特征参数如I<sub>dss</sub>,g<sub>m</sub>,P<sub>o</sub>,N<sub>F</sub>等。 GaAs上的欧姆接触最常采用的是Au-Ge-Ni合金系统,因为它能提供高频、大功率应用所需的低接触电阻